光柵尺檢測(cè)與數(shù)據(jù)處理

光柵測(cè)量位移的本質(zhì)測(cè)量光柵柵距是一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的尺子測(cè)量位移。高分辨率光柵尺一般成本是昂貴的,并且讓他們。為了提高系統(tǒng)的分辨率,需要對(duì)莫爾條紋細(xì)分,光柵尺位移傳感器(2006)系統(tǒng)使用電子細(xì)分方法。當(dāng)兩塊光柵與小角重疊,在一個(gè)方向垂直于光柵槽大致將產(chǎn)生莫爾條紋的移動(dòng)與光柵、莫爾條紋是上下移動(dòng)。因此,晶格間距光柵的測(cè)量轉(zhuǎn)化為一個(gè)數(shù)量的莫爾條紋測(cè)量。在莫爾條紋寬度,根據(jù)一定的間隔放置四個(gè)光電裝置可以實(shí)現(xiàn)電子部門和判處函數(shù)。例如,網(wǎng)格線的50行/ mm光柵尺,光柵柵距0.02毫米,如果分辨率可以得到經(jīng)過(guò)四細(xì)分為5微米的計(jì)數(shù)脈沖,這是常見(jiàn)的在工業(yè)測(cè)量和控制已經(jīng)達(dá)到一個(gè)非常高的精度。由于位移是矢量,即測(cè)試它的大小,并檢驗(yàn)其方向,因此光電信號(hào)的至少兩個(gè)不同的道路相。為了消除共模干擾,直流分量和諧波,通常采用低漂移運(yùn)放組成的差動(dòng)放大器。得到四個(gè)光電傳感器4路光電信號(hào)分別兩個(gè)差分放大器的輸入,兩路從差動(dòng)放大器輸出信號(hào)相位差的π/ 2,去和計(jì)數(shù)脈沖,對(duì)兩路信號(hào)是塑料,塑料,首先,方波的占空比為1:1。然后,通過(guò)比較階段的波的判別,得到移動(dòng)方向的光柵尺。通過(guò)對(duì)方波脈沖計(jì)數(shù),可以得到位移和速度的光柵尺。

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